全自動(dòng)薄膜測量設(shè)備Auto SE
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹
特長
- 非破壊?非接觸による測定
- ミューラー行列全16要素測定による薄膜特性評価
- カラービジョンシステムによる?yún)椕埭蕼y定位置の確認(rèn)
- 7種類の電動(dòng)可変マイクロスポットによる100μm角以下の微小領(lǐng)域測定
- 電動(dòng)XYZステージによる高速面內(nèi)分布測定
- 初心者でも簡単に測定?評価できる豊富なアプリケーションデータベース
- 日本語対応の専用ソフトウェア
仕様
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光源 |
ハロゲンランプおよび青色ＬＥＤ |
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波長範(fàn)囲 |
450nm-1000nm |
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スポットサイズ |
500μm X 500μm, 250μm X 500μm, 250μm X 250μm, |
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検出器 |
高感度CCD |
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サンプルステージ |
XYZ電動(dòng)可変、真空吸著機(jī)構(gòu)、 |
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サンプル観察系 |
CCDカメラ、ソフトウェアにてスポット位置確認(rèn) |
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入射角度 |
70度固定(66度固定も選択可) |
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操作PC |
デスクトップタイプ |
オプション
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光源 |
Xeランプユニット(100μm以下のスポット使用時(shí)に推奨) |
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アクセサリ |
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必要ユーティリティ
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電源 |
AC100V+/-5%未満 |
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真空源 |
サンプル吸著用(必要なお客様のみ) |