紫外域～近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜?表面?界面の特性評(píng)価のために、UVISELシリーズは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISELシリーズは、位相変調(diào)技術(shù)に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範(fàn)囲な波長(zhǎng)域をカバーしており、高精度?高分解能測(cè)定?素晴らしいS/N比で、全波長(zhǎng)域に渡って高品質(zhì)な測(cè)定データを採(cǎi)取することができます。

UVISELLシリーズは、機(jī)械的な動(dòng)作無(wú)く、高周波(50kHz)にて偏光変化を採(cǎi)取するための位相変調(diào)技術(shù)を組み込んでいます。その特徴的な技術(shù)によって、以下の特長(zhǎng)が得られます：

• (Ψ、Δ)のすべての値のための高精度測(cè)定
• 紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの素晴らしいS/N比
• 約60ms/ポイントと非常に速いデータ取得速度
  ～kinetic測(cè)定やIn-Situ測(cè)定へ最適～

位相変調(diào)技術(shù)を有するU(xiǎn)VISELLシリーズは、回転機(jī)構(gòu)を有する従來のエリプソメーターと比べると、薄膜を評(píng)価するために、より高感度、より高精度の測(cè)定を?qū)g現(xiàn)します。このことは、30μmまでの厚膜層や他のどんなエリプソメーターでもみることのできない薄膜や界面層の検出を可能とします。

UVISELはフレキシブルな構(gòu)成で、製品特長(zhǎng)に記載の波長(zhǎng)域が対応可能で、自動(dòng)化機(jī)能とアクセサリーは、ユーザの実験や研究へ対する様々な要求へ合うような能力を有しています。

UVISELLシリーズは、HORIBA Jobin Yvon社のすべての薄膜計(jì)測(cè)ツールに共通のプラットホームであるDeltaPsi2ソフトウェアによって制御されており、DeltaPsi2ソフトウェアはルーチンや先端研究の薄膜アプリケーションの両方を扱うための自動(dòng)測(cè)定やモデル?パッケージの機(jī)能を有しています。

半導(dǎo)體、ディスプレイ、太陽(yáng)光発電、光學(xué)コーティング、光エレクトロニクス、バイオおよび化學(xué)などの各分野のアプリケーションにおける、研究、産業(yè)、およびQC分析の要求に対して、UVISELシリーズは薄膜構(gòu)造の高精度な評(píng)価法としてベストな解決法を提供します。