陰極發(fā)光測(cè)量系統(tǒng)MP-32S
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- 陰極發(fā)光測(cè)量系統(tǒng)MP-32S
- HORIBA堀場(chǎng)
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概要
カソードルミネッセンス測(cè)定システム MP シリーズは、集光器と分光部は光ファイバーで接続することにより、使用用途に合わせた分光器の選択が可能です。CL集光ミラーは楕円面ミラーを使用することで試料からの発光を光ファイバーへ高効率で導(dǎo)くことができます。
MP-32S
高分解能の分光器と高感度PMT検出器を標(biāo)準(zhǔn)で搭載することにより、様々なアプリケーションに対応できる高性能なモデルです。分光器にはグレーティングを3枚搭載し、コンピュータによるスリットおよび光路切り替えミラーを自動(dòng)制御することが可能です。
MP-Micro
グレーティングを2枚搭載し、PMT検出器およびCCD検出器の搭載などMP-32Sの使いやすさを継承したモデルでコストパフォーマンスに優(yōu)れています。また小型の分光器、検出器を採(cǎi)用したことにより、スペースを有効に活用することができます。
特長(zhǎng)
- 微小領(lǐng)域を高空間分解能で測(cè)定
タングステンなどの汎用電子顕微鏡と組み合わせることにより、光學(xué)顕微鏡を用いた裝置に比べて高い空間分解能での測(cè)定ができます。
- 広範(fàn)囲な測(cè)定波長(zhǎng)領(lǐng)域
測(cè)定波長(zhǎng)領(lǐng)域は、標(biāo)準(zhǔn)仕様において200nm～1100nm（CCD検出器使用時(shí)）と広い範(fàn)囲をカバーしています。分光器はHORIBA Jobin Yvon社製のiHR-320、Micro-HRを採(cǎi)用し、3枚グレーティング自動(dòng)切替（Micro-HRは2枚)、コンピュータ制御が可能です。
- 強(qiáng)力なソフトウェア
長(zhǎng)年の実績(jī)と高い評(píng)価を得た分光測(cè)定ソフトウェアのノウハウを結(jié)集。
多様なCL測(cè)定により新たなナノテクノロジを切り開(kāi)きます。
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測(cè)定 |
解析 |
|---|---|
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二次電子像 |
スムージング |
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CL像（PMT) |
四則演算 |
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CLスペクトルマップ測(cè)定 |
ヒストグラム |
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マルチポイント測(cè)定 |
強(qiáng)度マップ |
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ラインスキャン測(cè)定 |
波長(zhǎng)マップ |
仕様
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MP-Micro |
MP-32S |
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|---|---|---|
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測(cè)定波長(zhǎng)範(fàn)囲 |
PMT：200nm-850nm |
PMT：200nm-930nm |
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波長(zhǎng)分散 |
5.25nm/mm |
2.35nm/mm |
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標(biāo)準(zhǔn)検出器 |
PMT（常溫）、CCD |
PMT（冷卻）、CCD |
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裝置構(gòu)成 |
モノクロメータMicro-HR |
モノクロメータiHR-320 |
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主なオプション |
*2：各冷卻ユニットに関しては、別途ご相談ください。 |
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