光罩/掩模異物檢查裝置“PD Xpadion EX”
?光罩/掩模異物檢查裝置“PD Xpadion EX”
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半導(dǎo)體制造曝光工序中不可或缺的PD系列異物檢查設(shè)備
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新產(chǎn)品“PD Xpadion EX”以流行的傳統(tǒng)型號“PD Xpadion”為基礎(chǔ),
配備了異物清除功能,可以用一臺設(shè)備完成從檢測到清除的所有操作。
此外,我們還開發(fā)了一種支持自動掩模版/掩模傳輸?shù)膬?nèi)部裝置,
有助于提高半導(dǎo)體制造工藝的效率和產(chǎn)量。
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產(chǎn)品特點
1.通過集成異物檢測和清除流程提高工作效率和產(chǎn)量
本公司異物去除率超過95% *2的標(biāo)線/掩模自動異物去除裝置“RP-1”的功能與“PD Xpadion”集成。
這使得自動檢測和清除異物成為可能。
它還配備了一個多端口,允許同時設(shè)置兩個裝有標(biāo)線/掩模的盒子,從而可以連續(xù)檢測和清除異物。
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2.通過與自動輸送設(shè)備聯(lián)動,促進(jìn)制造過程的自動化和節(jié)省勞動力
半導(dǎo)體制造工廠中,為了與 OHT(Overhead Hoist Transport:一種自動輸送裝置,將輸送的物體保持在懸浮狀態(tài),并在安裝在天花板上的軌道上運行)進(jìn)行協(xié)調(diào),需要 EFEM(設(shè)備前端模塊)。
我們開發(fā)了我們的 EFEM(設(shè)備前端模塊)。自己的單元(在 OHT 和異物檢查設(shè)備之間傳輸掩模版/掩模)。
我們靈活地響應(yīng)客戶的規(guī)格,為自動化和節(jié)省勞動力做出貢獻(xiàn),這對于提高生產(chǎn)率、消除勞動力短缺和簡化制造領(lǐng)域非常重要。
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