*將于12月11日在東京國際展覽中心舉行的“ SEMICON Japan 2019”上首次展出。

從化學(xué)濃度監(jiān)控器“ CS-900”的　
左側(cè)，顯示單元，傳感器單元　　
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發(fā)展背景

半導(dǎo)體制造過程中的化學(xué)處理是影響表面處理的均勻性并影響成品率的重要過程，因此需要對化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行嚴(yán)格的管理。
傳統(tǒng)上，主要方法是將傳感器單元直接連接到化學(xué)溶液流經(jīng)的管道，或?qū)⒐艿婪种Рy量化學(xué)濃度以將溶液發(fā)送到測量單元。然而，存在諸如化學(xué)物質(zhì)污染，引入期間與管道的復(fù)雜連接工作以及化學(xué)物質(zhì)泄漏等問題。這次，我們開發(fā)了一種傳感器單元，只需將??其放置在管道周圍即可安裝，從而實(shí)現(xiàn)非接觸式化學(xué)計(jì)量。這樣可以消除化學(xué)泄漏和污染，并提供安全穩(wěn)定的測量。另外，由于可以在不切割的情況下安裝管道，因此可以減少安裝的工作時間和工作量。HORIBA Advanced Techno的化學(xué)濃度監(jiān)測儀“ CS系列”將利用全球70％的市場份額，并進(jìn)一步擴(kuò)大銷售。
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產(chǎn)品特點(diǎn)

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  通過防止無污染的化學(xué)物質(zhì)泄漏和由于非接觸式結(jié)構(gòu)引起的污染，它通過安全穩(wěn)定的測量有助于提高產(chǎn)量并減少化學(xué)藥品的使用。
  
• 使用
  LED?延長光源的壽命使用?LED可以延長光源的壽命。
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• 實(shí)現(xiàn)高溫化學(xué)藥品（20°C到80°C）的穩(wěn)定測量。通過
  更新光學(xué)系統(tǒng)并改進(jìn)計(jì)算處理，可以穩(wěn)定地測量對于尖端化學(xué)處理必不可少的高溫化學(xué)藥品。

<標(biāo)準(zhǔn)建議售價(jià)>?
600萬日元（不含稅）
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